Модуль анализа поверхности кристаллов и пластин - стилусный профилометр KLA-Tencor P-17

KLA-Tencor P-17: Точный Анализ Поверхности Кристаллов и Пластин

KLA-Tencor P-17 – это передовой стилусный профилометр, разработанный для детального исследования микрорельефа поверхностей. Этот высокоточный прибор незаменим в отраслях, где критически важны малейшие отклонения в структуре материалов, таких как полупроводниковая промышленность, материаловедение и точное приборостроение. Обеспечивая измерения параметров шероховатости и высотных характеристик неровностей с исключительной точностью, P-17 позволяет гарантировать качество и надежность вашей продукции.

Принцип Работы и Функциональные Возможности

Сердце профилометра KLA-Tencor P-17 – это инновационный принцип измерения, основанный на контакте высокоточной алмазной иглы (щупа) с исследуемой поверхностью. Малейшие механические колебания щупа, возникающие при его движении по неровностям, преобразуются в изменения емкостного сопротивления. Эти сигналы затем усиливаются и обрабатываются мощным процессором, формируя детальную картину рельефа поверхности.

Результаты измерений представлены в наглядной форме:

• Профилограммы: Визуальное представление рельефа поверхности.
• Числовые значения параметров шероховатости: Количественная оценка микрорельефа.

Прибор может работать как от сети переменного тока через адаптер, так и от встроенной батареи, обеспечивая гибкость в условиях эксплуатации. KLA-Tencor P-17 представляет собой стационарное измерительное устройство, состоящее из блока привода с емкостным датчиком и блока обработки информации.

Управление и Интерфейс

Интуитивно понятное управление и настройка профилометра осуществляются посредством стандартной компьютерной мыши и клавиатуры, подключаемых к блоку электроники. Все полученные данные и изображения могут быть оперативно выведены на монитор или сохранены для дальнейшего анализа и документирования.

Идентификация и Безопасность

Каждый прибор KLA-Tencor P-17 имеет уникальный заводской (серийный) номер, нанесенный на корпус в виде шильды с УФ-печатью и ручным обозначением. Отсутствие пломбирования подчеркивает надежность конструкции, а знак поверки наносится на свидетельство о поверке, подтверждая его метрологическую пригодность.

Программное Обеспечение Profiler

Система KLA-Tencor P-17 оснащена специализированным программным обеспечением Profiler, которое является неотъемлемой частью аппаратного комплекса. ПО разработано для выполнения конкретных измерительных задач, управления прибором и обработки полученных данных. Оно обеспечивает:

• Точное управление всеми функциями профилометра.
• Эффективную обработку и анализ результатов измерений.
• Получение и передачу измерительной информации.

Метрологическая защита ПО реализована на высоком уровне:

• Конструкция прибора исключает несанкционированное вмешательство в ПО и измерительную информацию.
• Метрологически значимые компоненты ПО и измеренные данные надежно защищены от преднамеренных изменений.
• Программное обеспечение является неизменным, средства для его модификации отсутствуют.
• Встроенный менеджер лицензий с 128-битным шифрованием AES привязывает ПО к аппаратному идентификатору компьютера и серийному номеру системы, предотвращая неавторизованное использование.
• Оператор не имеет прав доступа для модификации системных файлов или установки стороннего ПО.

Уровень защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует стандарту «средний» (Р 50.2.077-2014).

Идентификационные данные ПО Profiler:

• Наименование: Profiler
• Версия: не ниже v 8.0

Технические и Метрологические Характеристики

Метрологические характеристики:

• Диапазон измерений шероховатости (Ra): от 0,001 до 90 мкм
• Пределы допускаемой относительной погрешности (Ra): ±5 %
• Диапазон измерений высот неровностей: от 0,003 до 327 мкм
• Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений высот неровностей: ±(0,006 + L/20) мкм, где L - измеряемая высота (нм)
• Повторяемость измерений высоты ступени (до 1 мкм): не более 2,5 нм
• Повторяемость измерений высоты ступени (свыше 1 мкм): не более 0,25 %

Технические характеристики:

• Максимальный диаметр образцов: 200 мм
• Угол поворота образца: 360°
• Максимальная толщина образцов: 55 мм
• Габаритные размеры (ДхШхВ): 780х570х450 мм
• Питающее напряжение: 210-230 В
• Частота: 50 Гц
• Потребляемая мощность: не более 1500 ВА

Условия Эксплуатации

Для обеспечения оптимальной работы и точности измерений рекомендуется соблюдать следующие условия:

• Диапазон рабочих температур: от +18 до +22 °С
• Относительная влажность: не более 80 % (без конденсата)

Знак утверждения типа наносится на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом.

Комплектность Поставки

Приобретая KLA-Tencor P-17, вы получаете полный комплект для начала работы:

• Модуль анализа поверхности кристаллов и пластин - стилусный профилометр KLA-Tencor P-17 (1 шт.)
• Компьютер с предустановленным ПО (1 шт.)
• Комплект дополнительных датчиков (1 комп.)
• Комплект кварцевых мер высоты неровностей (1 комп.)
• Руководство по эксплуатации (1 экз.)

Сведения о методах измерений подробно описаны в разделе 9 «Порядок работы» руководства по эксплуатации.

Нормативные Документы и Поверка

Прибор соответствует Государственной поверочной схеме для средств измерений параметров шероховатости Rmax, Rz (0,001-12000 мкм) и Ra (0,001-3000 мкм), утвержденной приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 6 ноября 2019 г. № 2657. Мы гарантируем возможность проведения поверки для подтверждения метрологической пригодности прибора.

Заказ и Доставка

Заказать стилусный профилометр KLA-Tencor P-17 вы можете, связавшись с нашими специалистами. Мы предлагаем выгодные условия и оперативную доставку по всей территории России. Уточните актуальную цену и наличие у наших менеджеров.

Компания «ЦЕНТР ЛАБОРАТОРНЫХ ТЕХНОЛОГИЙ» является вашим надежным партнером в области поставок высокоточного лабораторного оборудования. Мы готовы предоставить полную консультацию по метрологической характеристике прибора и помочь с выбором оптимального решения для ваших задач.

Для получения подробной информации, консультации или оформления заказа, пожалуйста, свяжитесь с нами:

Телефон: 8 (800) 511-77-51

E-mail: info@labcsm.ru

Наши эксперты всегда готовы помочь вам с выбором и ответить на все ваши вопросы.

[HYDRA_UPDATED]